在空分行业中使用的微量氧分析仪按照测量原理和测量范围不同，有电化学燃料电池式、氧化锆式，河南某集团煤化工空分装置微量氧分析仪采用的是SD-Y100M微量氧分析仪，其常见的应用：惰性气体的保护监测、空气分离和液化、化学反应监测、半导体生产、石化过程控制、气体分析检验等。

微量氧分析仪利用气体在原电池中发生氧化还原反应产生电流实现检测，电化学原理类似电池，其工作电极和对电极由已薄层电解液隔开并经由一个很小的电阻联通外电路。当气体扩散进入传感器后，在敏感电极表面进行氧化或还原反应，产生电流并通过外电路流经两个电极。该电流的大小与气体的浓度直接相关，可通过外电路的负荷电阻予以测量。

微量氧分析仪使用时的注意事项：要注意管路系统的气密性，防止大气中的氧渗透进来，对测量结构会造成影响；被测气体中不能含有硫化物、磷化物、酸性气体组分，如果上述物质存在，会影响被测电流而产生干扰；被测气体中不能含有油类组分和固体颗粒物，避免引起隔膜阻塞和污染。

由于大型空分技术逐渐提升，对粗氩气和氮气中的氧气浓度的要求越来越高，随之对微量氧分析仪的测量精度、可靠性、智能化的要求也逐渐提高。所以，选择合适的和正确使用维护微量氧分析仪也非常重要。